正確性、精度、および信頼性は、これらの磁気浮上ターボ分子ポンプの特徴です。より高速なポンプダウンタイムのための高排気速度とガススループットは装置のサイクル時間を改善します。変換器と電源が完全に統合されたことにより、従来のラック取付式コントローラと相互接続ケーブルは不要になります。
正確性、精度、および信頼性は、これらの磁気浮上ターボ分子ポンプの特徴です。より高速なポンプダウンタイムのための高排気速度とガススループットは装置のサイクル時間を改善します。変換器と電源が完全に統合されたことにより、従来のラック取付式コントローラと相互接続ケーブルは不要になります。
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正確性、精度、および信頼性は、これらの磁気浮上ターボ分子ポンプの特徴です。より高速なポンプダウンタイムのための高排気速度とガススループットは装置のサイクル時間を改善します。変換器と電源が完全に統合されたことにより、従来のラック取付式コントローラと相互接続ケーブルは不要になります。