RUVAC WAU 501

回転速度(50/60Hz): 3000 / 3600 min-1
接続フランジ: DN 63 PN6
最大許容圧力差: 80 mbar
設計排気速度(50Hz): 505 m3 · h-1
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モータ:

バイパス弁:

RUVAC WAU 501

ルーツポンプ - 高い信頼性、安全、堅牢

完全に最適化された実績のあるテクノロジー
RUVACルーツポンプはライボルトにより長年製造されています。ドライ圧縮ルーツ原理は多くの真空技術の領域で実証されています。
RUVACルーツポンプはドライまたは油回転式補助ポンプと組み合わせて、低圧時の排気速度を効率的に高め、補助ポンプの動作圧力幅を増やすために使用されます。RUVACルーツポンプには異なるドライブモーターの3種類のシリーズがあります。RUVAC WAシリーズは空冷式、フランジ据付の標準三相モーターを使用しています。RUVAC WSシリーズはキャンド(ローター)モーターが装備されており空冷と水冷バージョンがあります。いずれのシリーズも様々なサイズがあり常にアプリケーションに最適な排気速度を提供します。3種類すべてのシリーズには内蔵バイパスバルブ(圧力圧縮バルブ)あり、またはなしのタイプがあります。

  • RUVACルーツポンプは垂直または水平位置取付で使用できるため、コンパクトな設計を実現するための柔軟性があります。選択したポジションは必要に応じて変更することができます。

  • RUVACルーツポンプには静かな運転特性を高める高効率な循環システムを組み合わせた、堅牢なベアリングを使用しています。

  • RUVAC WSとRUVAC WSUのドライブモーター内のローターとステーターコイルは真空封止されています。

駆動軸のリードスルーがないため完全にシールされ、理想的な方法で信頼性向上の要件を満たします。
キャンド(ローター)モーターはRUVAC WSシリーズの高効率の潤滑システムと組み合わされ、最大6,000 rpm(インバータ付)の回転数を実現します。
これは同サイズのポンプの排気速度を向上を意味します。すべてのWA(U)はエネルギー効率クラスIE3に適合します。

 

アプリケーションに適合する実績あるテクノロジー

インテリジェントシリーズ
アプリケーションに実績のあるRUVACルーツポンプはほとんどすべての真空技術の領域に使用されています。油回転式TRIVACやSOGEVACシリーズと組み合わせるスタンダードです。しかし、完全なドライの組み合わせとしてDRYVACやSCREWLINEシリーズと組み合わせたスタンダードでもあります。

ライボルトは現代の真空ベースの製造プロセスの高い要求値を満たすために、実績のあるルーツ原理をRUVACシリーズに採用しました:

  • RUVACルーツポンプが最も多く使用されるのはより高い真空領域の大容量のガスや蒸気の圧縮を可能にするための小型の補助ポンプのブースターステージとしての使用です。

一般的なアプリケーションは熱処理、真空炉、冶金や大面積コーティングです。

  • RUVACルーツポンプは建築ガラスコーティング産業の標準装置です。油回転式SOGEVACポンプと組み合わせてロードロックチャンバーのポンプダウンタイムを最小限にします。ドライ圧縮式DRYVACとSCREWLINEポンプと組み合わせて、プロセスチャンバーにおいてドライで信頼性が高く、トラブルフリーの真空を保証します。

  • RUVACルーツポンプは多くのアプリケーションに使用され、サイクルタイムを可能な限り最短にします。例えばロードロックチャンバーや高速での食品包装など、素早い排気が重要とされる場所に使用されます。

  • RUVACルーツポンプは蒸着プロセス前のランプと絶縁表面の排気において、素早く10-3 mbarまで到達します。

  • RUVACルーツポンプはまた、単結晶シリコンや、半導体や太陽電池セルの製造用の一次材の製造用に使用される、単結晶引上装置に使用されています。

ライボルトの技術専門者がすべての真空関連のニーズに対して正確、包括的で素早いレスポンスを提供します。


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